ตัวควบคุมการไหลของมวล CS100 & เครื่องวัดการไหลซัพพลายเออร์ทั่วโลก

กลุ่มผลิตภัณฑ์

ข้อมูล บริษัท

ระดับการซื้อขาย

สมาชิกวีไอพี
ติดต่อ
โทรศัพท์
ที่อยู่

No.8 Wenchang Avenue, ??????????????????????????????????? (????????????: 100176)

ตัวควบคุมการไหลของมวล CS100 & เครื่องวัดการไหล

ผลิตภัณฑ์ CS100 ได้รับการพัฒนาบนพื้นฐานของเครื่องวัดการไหลของดาวเจ็ดดวง CS series แพลตฟอร์มเทคโนโลยีผลิตภัณฑ์บนพื้นฐานของการมีเทคโนโลยีเซ็นเซอร์พลังงา

ติดต่อผู้จัดจำหน่าย

ผลิตภัณฑ์อื่น ๆ

รายละเอียดสินค้า

ข้อดี

•ผลิตภัณฑ์ CS100 ใช้การออกแบบที่กำหนดเองของลูกค้า
•ลูกค้าสามารถเลือกแหล่งจ่ายไฟคู่± 15V หรือ + 24 แหล่งจ่ายไฟเดียวตามความต้องการ
•ซีลโลหะหรือซีลยาง
•ขนาดผลิตภัณฑ์สามารถเลือกผลิตภัณฑ์ที่สอดคล้องกับมาตรฐาน SEMI สากลและผลิตภัณฑ์ประเภทรัดเข็มขัด

พารามิเตอร์ทางเทคนิค

CS100

แบบ

CS100A

CS100D

ประเภทวาล์ว

ปกติปิด

ไม่มี

ปกติปิด

ไม่มี

ข้อกำหนดการไหล (N2)

(0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM

(0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30) SLM

ความถูกต้อง

±1.0% S.P. (≥35% F.S.)； ±0.35% F.S.(＜35% F.S.)

เส้นตรง

±0.5% F.S.

ทำซ้ำความถูกต้อง

±0.2% F.S.

เวลาตอบสนอง

≤ 1sec

ช่วงความแตกต่างของความดันการทำงาน

0.05～0.35MPa； ข้อกำหนดการไหล ≤10SLM
0.1～0.35MPa ； 10 <ข้อกำหนดการไหล ≤30SLM
0.25～0.45MPa ； 30 <ข้อกำหนดการไหล ≤50SLM

＜0.02 MPa

0.05～0.35MPa； ข้อกำหนดการไหล ≤10SLM
0.1～0.35MPa； 10 <ข้อกำหนดการไหล ≤30SLM

＜0.02 MPa

ค่าสัมประสิทธิ์อุณหภูมิ

จุดศูนย์: ≤± 0.05% FS / ℃; เมื่อปรับ: ≤± 0.1% FS / ℃

ความต้านทานแรงดัน

3MPa

10MPa

3MPa

10MPa

อัตราการรั่วไหล

1×10^-9Pa·m³/ sec He（1×10^-8atm·cc / sec He）

วัสดุซีล

ยางฟลูออรีน

ซีลโลหะ

แม็กซ์ ความดันการทำงาน

0.45MPa

อุณหภูมิสภาพแวดล้อมการทำงาน

（5～45）℃

สัญญาณอินพุต

การจำลอง:
(0～5)VDC

ดิจิตอล: RS485

ไม่มี

การจำลอง:
(0～5)VDC

ดิจิตอล: RS485

ไม่มี

สัญญาณเอาท์พุท

การจำลอง:
(0～5)VDC

ดิจิตอล: RS485

การจำลอง: (0 ~ 5) VDC

ดิจิตอล: RS485

การจำลอง:
(0～5)VDC

ดิจิตอล: RS485

การจำลอง:
(0～5)VDC

ดิจิตอล: RS485

แบบฟอร์มการเชื่อมต่อพลังงาน

ประเภท D 9 พิน
ข้อต่อชาย;