แบบ

เครื่องแกะสลักไอออน 7.5IBE

เครื่องแกะสลักไอออน 10IBE

เครื่องแกะสลักไอออน 20IBE-C

เครื่องแกะสลักไอออน 20IBE-J

ขอบเขตการใช้งาน

เหมาะสำหรับสถาบันวิจัยทางวิทยาศาสตร์การวิจัยในห้องปฏิบัติการ

เหมาะสำหรับการผลิตขนาดเล็กและการวิจัยในห้องปฏิบัติการ

เครื่องแกะสลักไอออนเหมาะสำหรับการผลิตขนาดกลาง

เครื่องแกะสลักไอออนเหมาะสำหรับการผลิตมวล

ขนาดแผ่นฐาน

Φ4 x 1 เม็ดหรือ
Φ6 x 1 เม็ด

Φ8 x 1 เม็ด

Φ3 นิ้ว X 8 ชิ้น
Φ4 นิ้ว X 6 ชิ้น
Φ8 นิ้ว X 1 ชิ้น

Φ4 นิ้ว X 12 ชิ้น
Φ5 นิ้ว X 10 ชิ้น
Φ6 นิ้ว X 8 ชิ้น

แหล่งกำเนิดไอออน

8 ซม. หรือ 10 ซม
แหล่งกำเนิดไอออน Kaufman

แหล่งกำเนิดไอออน Kaufman 10 ซม

แหล่งกำเนิดไอออน Kaufman 20 ซม

แหล่งกำเนิดไอออน Kaufman 20 ซม