Hitachi Hi-Tech เปิดตัวกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนสแกนแบบใหม่ FlexSEM 1000 ทั่วโลกเมื่อวันที่ 15 เมษายน 2559 ผลิตภัณฑ์มีโครงสร้างที่กะทัดรัดและพื้นที่ขนาดเล็ก แต่ความละเอียดไม่ส่งกระจกไฟฟ้าขนาดใหญ่ในเวลาเดียวกันใช้งานง่ายมากและสามารถใช้งานได้โดยไม่ต้องฝึกอบรม การออกแบบที่กะทัดรัดพร้อมความละเอียด 4 นาโนเมตร
กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนสแกนสามารถสังเกตพื้นผิวของวัสดุที่มีอัตราขยายสูงและการวิเคราะห์องค์ประกอบที่มีความแม่นยำสูง มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในด้านนาโนเทคโนโลยีวิทยาศาสตร์เพื่อชีวิตการวิจัยและพัฒนาการออกแบบผลิตภัณฑ์และการวิเคราะห์ความล้มเหลว ในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมา ความต้องการในการสแกนกระจกไฟฟ้าเพื่อสังเกตโครงสร้างที่ละเอียดและการวิเคราะห์องค์ประกอบของพื้นผิวเพิ่มขึ้นทุกวัน ในขณะที่ผู้ใช้จํานวนมากขึ้นหวังว่าจะใช้กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนสแกนในพื้นที่ที่ จํากัด เช่นสายการผลิตสายการตรวจสอบการประกันสินค้าและพื้นที่สํานักงาน ดังนั้นกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนสแกนที่มีขนาดเล็กใช้งานง่ายและมีความละเอียดสูงจึงได้รับความสนใจ โฮสต์ FlexSEM 1000 มีความกว้าง 450 มม. ยาว 640 มม. มีปริมาตรลดลง 52% เมื่อเทียบกับรุ่น SU1510 น้ำหนักลดลง 45% การใช้พลังงานลดลง 50% และมีอินเทอร์เฟซพลังงานมาตรฐาน เครื่องหลักสามารถแยกออกจากหน่วยจ่ายไฟได้และการติดตั้งมีความยืดหยุ่นมาก
FlexSEM 1000 ใช้ระบบออปติคอลอิเล็กทรอนิกส์ที่ออกแบบใหม่ล่าสุดและเครื่องตรวจจับความไวสูงและมีความละเอียดสูงถึง 4nm ด้วยคุณสมบัติอัตโนมัติที่หลากหลาย FlexSEM 1000 ใช้งานง่ายและสามารถถ่ายภาพที่มีคุณภาพสูงได้อย่างรวดเร็วแม้ผู้ประกอบการครั้งแรก นอกจากนี้ฟังก์ชั่นการนำทางที่พัฒนาขึ้นใหม่ "SEM MAP" สามารถนำทางด้วยภาพออปติคัลหรือภาพถ่ายกระจกไฟฟ้าต่างๆได้อย่างรวดเร็วและแม่นยำสลับไปยังขอบเขตการมองเห็นที่น่าสนใจด้วยคลิกเดียว

ลักษณะการทำงาน:

ก. ผ่านเครื่องตรวจจับอิเล็กทรอนิกส์ทุติยภูมิที่มีความไวสูงเครื่องตรวจจับการกระจัดกระจายด้านหลังเครื่องตรวจจับสูญญากาศต่ำ (UVD^*2), ตระหนักถึงการสังเกตภาพที่มีคุณภาพสูงภายใต้แรงดันไฟฟ้าเร่งต่ำ / สูญญากาศต่ำ

ข. การดำเนินงานที่ง่ายและง่ายดายแม้สามเณรสามารถถ่ายภาพที่มีคุณภาพสูง

c. ฟังก์ชั่นการนำทางที่พัฒนาขึ้นใหม่ "SEM MAP" ช่วยให้สามารถล็อคมุมมองได้อย่างรวดเร็ว

d หน้าต่างขนาดใหญ่ (30 มม²) ระบบสเปกตรัมพลังงาน SDD เพื่อการวิเคราะห์องค์ประกอบที่ง่ายและรวดเร็ว^*2

* 1 เมื่อตั้งค่าบนเดสก์ท็อปให้แยกเครื่องหลักและกล่องจ่ายไฟออกจากกัน

* 2 ตัวเลือก

โครงการ		เนื้อหา
พลังงานสลายตัว*3		4.0 nm @ 20 kV (SE: โหมดสูญญากาศสูง) 15.0 nm @ 1 kV (SE: โหมดสูญญากาศสูง) 5.0 nm @ 20 kV (BSE: โหมดสูญญากาศต่ำ)
แรงดันเร่ง		0.3 kV ～ 20 kV
กำลังขยาย		6 × ~ 300,000 × (อัตราการคูณฟิล์ม) 16 × ~ 800,000 × (อัตราการแสดงผล)
โหมดสูญญากาศต่ำ		ช่วงสูญญากาศ: 6 ~ 100 Pa
ปืนอิเล็กทรอนิกส์		Prepair เส้นใยทังสเตน
ตารางตัวอย่าง		3- ตารางมอเตอร์อัตโนมัติเพลา X：0 ～ 40 mm, Y：0 ～ 50 mm, Z：5 ～ 15 mm R：360°, T：-15° ～ ＋90°
ขนาดตัวอย่างสูงสุด		เส้นผ่าศูนย์กลาง 80 มม
แม็กซ์ ความสูงของตัวอย่าง		40 mm
ขนาด		เครื่องหลัก: 450 (W) x 640 (D) x 670 (H) มม หน่วยจ่ายไฟ: 450 (W) x 640 (D) x 450 (H) มม
ตัวเลือกเครื่องตรวจจับ		เครื่องตรวจจับอิเล็กทรอนิกส์ทุติยภูมิสูญญากาศต่ำความไวสูง (UVD) เครื่องตรวจจับเอ็กซ์เรย์ชนิดกระจายพลังงาน (EDS)