เครื่องวัดการไหลของมวลอัจฉริยะตัวควบคุมการไหลของปริมาตรขนาดเล็กเครื่องวัดการไหลของก๊าซความร้อน
การใช้งานและคุณสมบัติ
ตัวควบคุมการไหลของมวล (Mass Flow Controller ย่อมาจาก MFC) ใช้ในการวัดและควบคุมการไหลของมวลก๊าซอย่างแม่นยำ พวกเขามีบทบาทสําคัญในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และวงจรรวมวิชาวัสดุพิเศษอุตสาหกรรมเคมีการวิจัยทางวิทยาศาสตร์และการผลิตที่มีหลายสาขาของอุตสาหกรรมยา *** และหลอดไฟสูญญากาศ การใช้งานทั่วไป ได้แก่: อุปกรณ์กระบวนการทางอิเล็กทรอนิกส์เช่นการแพร่กระจายการขยาย CVD、 ออกซิเดชัน, การแกะสลักพลาสม่า, สปัตเตอร์, การฉีดไอออน และอุปกรณ์เคลือบ, การหลอมไฟเบอร์, อุปกรณ์ปฏิกิริยาขนาดเล็ก, ระบบจ่ายก๊าซผสม, การวัดเส้นเลือดฝอย, โครมาโตกราฟีก๊าซและเครื่องมือวิเคราะห์อื่น ๆ
ตัวชี้วัดทางเทคนิคหลัก
ช่วง (20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM
ความแม่นยำ +1.5% FS
เชิงเส้น + 0.5 ~ 1.5% FS
ความแม่นยำในการทำซ้ำ + 0.2% FS
เวลาตอบสนอง 10 วินาที ลักษณะแก๊ส: (1 ~ 4) วินาที
ความแตกต่างของแรงดันใช้งาน 0.1 ~ 0.5MPa
ความต้านทานแรงดัน 3Mpa 6Mpa 10Mpa
อุณหภูมิในการทำงาน 0 ~ 70 ℃
ปริมาณดิจิตอล RS485 MODBUS โปรโตคอล
ปริมาณอะนาล็อก DC 0 ~ 5V, 4 ~ 20mA ไม่จำเป็น
ลักษณะทางไฟฟ้า: SLM
แหล่งจ่ายไฟ DC + 15V / 24V เป็นตัวเลือกเครื่องวัดการไหล <50mA, ตัวควบคุม <200mA
การเชื่อมต่อไฟฟ้า DB15
อัตราการรั่วไหล 1 × 10 SCCSHe
วัสดุฐาน สแตนเลส 316L
วัสดุซีล Viton, Neoprene Clear, Neoprene
การเชื่อมต่อทางอากาศ Φ3, Φ6, Φ10, 1/8 ″ 1/4 ″ 3/8 ″
หมายเหตุ: เครื่องวัดการไหลของมวลและตัวควบคุมการไหลของมวลมักจะถูกปรับระดับด้วยไนโตรเจน (N₂) จากโรงงาน
หน่วยของการไหลของมวลที่ระบุ: SCCM (มิลลิลิตรมาตรฐาน / นาที); SLM (มาตรฐาน L / นาที)
เครื่องวัดการไหลของมวลอัจฉริยะตัวควบคุมการไหลของปริมาตรขนาดเล็กเครื่องวัดการไหลของก๊าซความร้อน