แบบ

K1000A

K1000B

K1000C

ข้อกำหนดการไหล (อัตราการแปลง N2)

Bin 1: 10 SCCM ~30SCCM

Bin 2: 30 SCCM ~100SCCM

Bin 6: 3SLM ~10SLM

60SLM 、100SLM、

200SLM、300SLM、

Bin 3: 100SCCM~300SCCM

Bin 7: 10SLM~ 30SLM

Bin 8: 30 SLM ~50SLM

150SLM、200SLM

400SLM、500SLM

600SLM, 1000SLM (N2, H2, อากาศ ฯลฯ )

Bin 4: 300 SCCM ~1SLM

Bin 5: 1SLM ~3SLM

ประเภทวาล์ว

N / O: ประเภทเปิดตามปกติ N / C: ประเภทปิดตามปกติ

N / C: ประเภทปิดตามปกติ

ช่วงการควบคุมการไหล

2%～100%F.S.

ความถูกต้อง

100%～25%：±1.0% of S.P.，
25%～2%：±0.25%F.S.
(ช่วงรับประกันความแม่นยำ 15 ~ 35 ℃)

± 1% FS (ช่วงรับประกันความแม่นยำ 15 ~ 35 ℃)

± 2% FS (ช่วงรับประกันความแม่นยำ 15 ~ 35 ℃)

อุณหภูมิสภาพแวดล้อมการทำงาน

5～50℃

5～45℃

เวลาตอบสนอง

≦1sec

≦3sec

เส้นตรง

±0.5%F.S.

ทำซ้ำความถูกต้อง

±0.2%F.S.

ช่วงความแตกต่างของความดันการทำงาน

N/O100～300KPa (3SLM～10SLM)

50～300KPa

N/O150～300KPa (11SLM～30SLM)

200～300KPa

（Ar: 100～300KPa）

N/C100～300KPa (3SLM～30SLM)

（Ar: 250～450KPa）

100～300KPa

150～300KPa

300～450kPa (H2：150～300kPa)

（Ar 200～3500KPa）

ค่าสัมประสิทธิ์อุณหภูมิ

Zero:±0.1%F.S./℃ Span: ±0.1%F.S./℃

แม็กซ์ ความดันการทำงาน

400KPa（Ar:500KPa）

700KPa

ความต้านทานแรงดัน

1MPa

อัตราการรั่วไหล

ซีลโลหะ: 1 × 10^－11Pa・m³/sec He (1×10^－10atm・cc/sec He)

ซีลแหวนยาง: 1 × 10^-7Pa・m³/sec He (1×10^－6atm・cc/sec He)

ซีลแหวนยาง: 1 × 10^－7Pa・m³/sec He (1×10^－6atm・cc/sec He)

วัสดุซีล

ซีลโลหะ; ยางฟลูออรีน; ยาง Neoprene

ยางฟลูออรีน; ยาง Neoprene

แบบฟอร์มการสื่อสาร

อะนาล็อก: 0 ~ 5V DC ดิจิตอล: RS485, DeviceNet, EthernetCAT

อนาล็อก: 0 ~ 5V DC ดิจิตอล: RS485, DeviceNet,

พาวเวอร์ซัพพลาย

อนาล็อก / ดิจิตอล: + 15VDC 50mA, -15VDC 200mA; DeviceNet：+11~+24VDC，5.5VA(5.5W)

รูปแบบข้อต่อมาตรฐาน

VCR 1/4 ชาย, ปลอกโลหะคู่ 1/4 ชาย, 1.5 '' W-Seal, 1.125 '' W-Seal, 1.125 '' C-Seal

VCR 3/8 ชาย, ปลอกโลหะคู่ 3/8 ชาย

VCR 1/2 ชาย, ปลอกโลหะคู่ 1/2 ชาย

น้ำหนัก

1.0kg

3.0kg

3.7kg