หมายเลขรุ่น: ASR-VMS-6050
ตารางแกน X / Y เดินทาง 600 มม. * 500 มม
การเดินทางแกน Z พื้นที่ที่มีประสิทธิภาพ 235 มม., จังหวะโฟกัส 250 มม., ระยะการทำงาน 105 มม
ขนาดเคาน์เตอร์หินอ่อน 650 มม. * 550 มม
ขนาดโต๊ะกระจก 450 มม. * 350 มม
ประเภทเกียร์ ประเภทเกียร์: แกน X / Y / Z ไต้หวันนำเข้ารางเชิงเส้นที่แม่นยำและสกรูบอลนำเข้าจากไต้หวัน
การวัดระบบไดรฟ์เซอร์โวความละเอียดของไม้บรรทัดออปติคอล: แกน X / Y / Z 0.0002MM (0.2UM)
ความแม่นยำในการวัด: ≤2.5UM + L / 250 ความแม่นยำในการทำซ้ำ: ≤2.5UM + L / 250
การคำนวณปริมาณการกระจายความร้อนในห้องเครื่อง:
รักษาระบบคอมพิวเตอร์ในห้องเครื่องทำงานในอุณหภูมิพื้นที่ความชื้นต้องคำนวณปริมาณการกระจายความร้อนทั้งหมดในห้องคอมพิวเตอร์ซึ่งรวมถึงปริมาณการกระจายความร้อนของเครื่องทั้งหมดในห้องเครื่อง (แสงไฟส่องสว่างทั่วไปสามารถนับได้)
·การกระจายความร้อนของบุคลากร: เฉลี่ย 600BTY / ชั่วโมงต่อคน
·อุปกรณ์สำหรับการขยายตัวในอนาคต (เล็กน้อย)
·การกระจายความร้อนในพื้นที่ห้องเครื่อง: 50BTY / ตารางฟุต