Park Systems กล้องจุลทรรศน์พลังงานปรมาณู XE-15

บทนำของเครื่องมือ:

Park XE-15 มีความเข้ากันได้กับตัวอย่างที่ครอบคลุม ความหลากหลายของการออกแบบตารางตัวอย่างให้สภาพแวดล้อมการทดสอบที่สะดวกและเชื่อถือได้สำหรับขนาดรูปร่างปริมาณตัวอย่างที่แตกต่างกัน เครื่องสแกนเนอร์ XY แบบลูปปิดที่แยกจากกันเพื่อลดข้อผิดพลาดในการดัดงอให้ความเป็นเส้นตรง โหมดการสแกนแบบไม่สัมผัสที่แท้จริงขยายประเภทตัวอย่างที่เหมาะสมในขณะที่ยืดอายุการใช้งานของโพรบและลดค่าใช้จ่ายในการใช้งาน

Park Systems กล้องจุลทรรศน์แรงอะตอม XE-15 พารามิเตอร์ทางเทคนิค:

สแกนเนอร์

เครื่องสแกนเนอร์ XY

คำแนะนำที่ยืดหยุ่นควบคุมวงปิดเครื่องสแกนเนอร์โมดูลเดียว

สแกนช่วง 100μm * 100μm (50μm * 50μm เป็นตัวเลือก)

ชดเชยระนาบ: <2nm (40μm * 40μm สแกน)

Z สแกนเนอร์

เครื่องสแกนเนอร์ที่มีประสิทธิภาพพร้อมคำแนะนำที่ยืดหยุ่น

ช่วงการสแกน 12μm (25μm เป็นตัวเลือก)

ความถี่เรโซแนนซ์:> 5kHz

พื้นผิวการถ่ายภาพเสียงรบกวน: 0.03nm

ตารางตัวอย่าง

ชนิดของตารางตัวอย่าง: ตารางตัวอย่าง 16 จุด / ตารางดูดซับสูญญากาศขนาดเส้นผ่าศูนย์กลาง 150 มม. (ตัวเลือกตารางดูดซับสูญญากาศขนาดเส้นผ่าศูนย์กลาง 200 มม.)

ขนาดตัวอย่าง: 150 มม. * 150 มม. * 20 มม

น้ำหนักตัวอย่าง: zui ใหญ่ 500 กรัม

ช่วงการเคลื่อนที่ของตารางตัวอย่าง: 150 มม. * 150 มม. (200 มม. * 200 มม. เป็นตัวเลือก)

คุณสมบัติหลัก:

I. นวัตกรรมการออกแบบตารางตัวอย่างหลายจุดให้ประสิทธิภาพการทำงาน

●สามารถสแกนตัวอย่างได้ 16 ตัวอย่าง

●ง่ายต่อการวางตัวอย่างและสแกนอย่างรวดเร็ว

●ปรับปรุงความแม่นยำและการทำซ้ำของข้อมูลอย่างมาก

ครั้งที่สอง สนับสนุนตัวอย่างขนาดใหญ่เพื่อตอบสนองความต้องการของการพัฒนาอุตสาหกรรม

● zui รองรับเวเฟอร์ขนาด 200 มม. เพื่อตอบสนองความต้องการของผู้ใช้ในปัจจุบันและอนาคต

●การออกแบบพิเศษเพื่อตอบสนองความต้องการที่แท้จริงของผู้ใช้ที่เกี่ยวข้องกับเซมิคอนดักเตอร์

III การเลือกโหมดการทำงานที่หลากหลาย

●การสนับสนุนที่สมบูรณ์แบบสำหรับฟังก์ชั่น SPM ต่างๆ

●รองรับโหมดการวัดหลายตัวเลือก

●รองรับอุปกรณ์เสริมที่หลากหลายเพื่อประสิทธิภาพในการขยายที่เหนือกว่า