บริษัท ฮิตาชิ ไฮเทค (เซี่ยงไฮ้) อินเตอร์เทรด จำกัด
บ้าน>ผลิตภัณฑ์>กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน Regulus Series
กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน Regulus Series
รุ่นที่มีอยู่ SU8240, SU8230, SU8220 และ SU8010 ถูกรวมเข้าด้วยกันและได้มาจาก Regulus8240, Regulus8230, Regulus8220, Regulus8100 'Regulus Series' สืบทอ
รายละเอียดสินค้า

กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน Regulus Series

  • การให้คำปรึกษา
  • การพิมพ์

超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列

รุ่นที่มีอยู่ SU8240, SU8230, SU8220 และ SU8010 ถูกรวมเข้าด้วยกันและได้มาจาก Regulus8240, Regulus8230, Regulus8220, Regulus8100

'Regulus Series' สืบทอดประสิทธิภาพการสังเกตและวิเคราะห์ของรุ่นที่มีอยู่พร้อมกับปืนอิเล็กทรอนิกส์ยิงสนามที่มีเสียงรบกวนต่ำในซีรีส์ SU8200*1,การไหลของลำแสงที่มีเสถียรภาพสูงสามารถรับได้

โดยการเพิ่มประสิทธิภาพของระบบอิเล็กทรอนิกส์ออปติคอล Regulus8240/8230/8220 ปรับปรุงความละเอียดเป็น 0.7 นาโนเมตรที่ 1 kV และความละเอียดของ Regulus8100 เพิ่มขึ้นเป็น 0.8 นาโนเมตร

นอกจากนี้การขยายกำลังยังเพิ่มขึ้นจาก 1 ล้านเท่าในอดีตเป็น 2 ล้านเท่าเพื่อความสามารถในการแยกแยะสูงเป็นพิเศษ*1
Regulus8240/8230/8220/8100 ยังปรับปรุงฟังก์ชั่นการสนับสนุนผู้ใช้ผ่านฟังก์ชั่นนี้ผู้ใช้สามารถเข้าใจหลักการตรวจจับของสัญญาณที่ซับซ้อนต่างๆได้ง่ายขึ้นเพื่อช่วยให้ผู้ใช้สามารถใช้ประสิทธิภาพสูงสุดของเครื่องมือได้อย่างเต็มที่

*1
Regulus8240/8230/8220 เท่านั้น

  • คุณสมบัติ

  • สเปค

คุณสมบัติ

  • ยิงปืนอิเล็กทรอนิกส์ตามสนามเย็น 'SU8200 series'*2
  • ใช้พื้นที่ความสว่างสูงและมีเสถียรภาพของลำแสงอิเล็กตรอนที่ปรากฏขึ้นหลังจาก Flashing เป็นช่วงของการสังเกตที่มีเสถียรภาพเพื่อให้ประสิทธิภาพสูงสุดในการสังเกตและวิเคราะห์ความละเอียดสูงภายใต้สภาวะแรงดันเร่งต่ำ
    (Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
  • ใช้ไซโลตัวอย่างสูญญากาศขนาดเล็กที่มีมลพิษสูง
  • การใช้ตัวกรองพลังงาน (ตัวเลือก) อัตราส่วนความคมชัดของส่วนผสมต่างๆสามารถสังเกตได้*2

การสังเกตความแตกต่างสูงที่แรงดันลงจอดต่ำมาก

极低着陆电压下高分辨观察
ตัวอย่าง: เม็ดทอง
แรงดันลงจอด: 10 V

การสังเกตความแตกต่างสูงเป็นพิเศษ

超高分辨观察
ตัวอย่าง: Pt Catalyst
แรงดันเร่ง: 30 kV

การวิเคราะห์ EDX ความละเอียดสูงภายใต้แรงดันไฟฟ้าเร่งต่ำ

低加速电压下高分辨EDX分析
ตัวอย่าง: บอล Sn
แรงดันลงจอด: 1.5 kV

*2
Regulus8240/8230/8220 เท่านั้น

สเปค

โครงการ Regulus 8100 Regulus 8220 Regulus 8230 Regulus 8240
ความละเอียดอิเล็กทรอนิกส์ทุติยภูมิ 0.7 nm
(แรงดันไฟฟ้าเร่ง 15 kV)
0.8 nm
(แรงดันไฟฟ้าลงจอด 1 kV)*3
0.6 นาโนเมตร (แรงดันไฟฟ้าเร่ง 15 กิโลโวลต์)
0.7 นาโนเมตร (แรงดันไฟฟ้าลงจอด 1 kV)*3
แรงดันลงจอด 0.1~2 kV 0.01~20 kV
กำลังขยาย 20 ~ 1,000,000 ครั้ง*4 20 ~ 2,000,000 ครั้ง*4
ตารางตัวอย่าง การควบคุมตารางตัวอย่าง โต๊ะมอเตอร์ 3 แกน (ตัวเลือกโต๊ะมอเตอร์ 5 แกน) มอเตอร์ขับเคลื่อน 5 แกน
ช่วงการเคลื่อนที่ X 0~50 mm 0~50 mm 0~110 mm 0~110 mm
Y 0~50 mm 0~50 mm 0~110 mm 0~80 mm
R 360°
T -5~70°
Z 1.5~30 mm 1.5~40 mm
การทำซ้ำ เพศ - - - ด้านล่าง± 0.5 μm มี± 0.5 μm
*3
สังเกตในโหมดลดความเร็ว
*4
อัตราการคูณโดยใช้ฟิล์มด้านล่าง 127 มม. × 95 มม. เป็นเกณฑ์มาตรฐาน

การจำแนกประเภทผลิตภัณฑ์ที่เกี่ยวข้อง

  • ระบบลำแสงไอออนโฟกัส (FIB / FIB-SEM)
  • TEM / SEM ตัวอย่างก่อนการประมวลผลหน่วย
สอบถามออนไลน์
  • ติดต่อ
  • บริษัท
  • โทรศัพท์
  • อีเมล์
  • วีแชท
  • รหัสยืนยัน
  • เนื้อหาข้อความ

การดำเนินการประสบความสำเร็จ!

การดำเนินการประสบความสำเร็จ!

การดำเนินการประสบความสำเร็จ!