สมาชิกวีไอพี
รายละเอียดสินค้า
แนะนำผลิตภัณฑ์
・ใช้สำหรับดักจับสารระเหย (สารปนเปื้อนอินทรีย์) บนพื้นผิวแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนขนาด 8吋และ 6吋. (SW-8400)
・ใช้สำหรับดักจับสารระเหย (สารปนเปื้อนอินทรีย์) บนพื้นผิวแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน 12 แผ่น (SW-12400)
・ดักจับก๊าซระเหยของซิลิคอนเวเฟอร์ด้านเดียวและใช้งานง่าย
・ เตาให้ความร้อนใช้วิธี Inverted Overhang เพื่อเก็บตัวอย่างก๊าซที่ผลิตจากด้านหน้าของเวเฟอร์เท่านั้น
・ใช้สำหรับดักจับสารระเหย (สารปนเปื้อนอินทรีย์) บนพื้นผิวแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน 12 แผ่น (SW-12400)
・ดักจับก๊าซระเหยของซิลิคอนเวเฟอร์ด้านเดียวและใช้งานง่าย
・ เตาให้ความร้อนใช้วิธี Inverted Overhang เพื่อเก็บตัวอย่างก๊าซที่ผลิตจากด้านหน้าของเวเฟอร์เท่านั้น
·เตาความร้อนสามารถให้ความร้อนได้ถึง 500 ℃
・ การปิดผนึกเตาความร้อนถูกปิดผนึกด้วย O-ring (วัสดุโพลีอะไมด์) โดยไม่มีการรั่วไหล
・ โดยทั่วไปจะใช้ PAT (เนื้อหา 10 มล. และเติม 2.5 กรัม Tenax GR) เพื่อดักจับก๊าซ หลอดสุ่มตัวอย่างการจับที่สอดคล้องกันของผู้ผลิตรายอื่นยังสามารถเลือกได้สำหรับการสุ่มตัวอย่าง
・ การปิดผนึกเตาความร้อนถูกปิดผนึกด้วย O-ring (วัสดุโพลีอะไมด์) โดยไม่มีการรั่วไหล
・ โดยทั่วไปจะใช้ PAT (เนื้อหา 10 มล. และเติม 2.5 กรัม Tenax GR) เพื่อดักจับก๊าซ หลอดสุ่มตัวอย่างการจับที่สอดคล้องกันของผู้ผลิตรายอื่นยังสามารถเลือกได้สำหรับการสุ่มตัวอย่าง
・ติดตั้งอุปกรณ์หมุนเวียนน้ำหล่อเย็น
・ มีอุปกรณ์ป้องกันความร้อนสูงเกินไปอุปกรณ์ความปลอดภัยที่เชื่อมต่อกันปุ่มหยุดฉุกเฉินเซ็นเซอร์การรั่วไหลของน้ำ (อุปกรณ์เสริม) และอุปกรณ์ป้องกันความปลอดภัยอื่น ๆ
・ มีอุปกรณ์ป้องกันความร้อนสูงเกินไปอุปกรณ์ความปลอดภัยที่เชื่อมต่อกันปุ่มหยุดฉุกเฉินเซ็นเซอร์การรั่วไหลของน้ำ (อุปกรณ์เสริม) และอุปกรณ์ป้องกันความปลอดภัยอื่น ๆ
พารามิเตอร์ทางเทคนิค
|
วิธี
|
วิธีการแขวนกลับ
|
|
ขนาดแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนดักจับ
|
8 "หรือ 6", 5 "ต่อไปนี้ต้องเพิ่มแหวนขยาย (ชนิด 12400, 12")
|
|
โอริง
|
เส้นผ่าศูนย์กลางส่วนซีล 220mm (Polyamine)
|
|
เตาความร้อนควอตซ์
|
วัสดุควอตซ์ใส
|
|
เครื่องทำความร้อน วิธีทำความร้อน
|
แผ่นด้านบน・แผ่นด้านล่างวิธีทำความร้อนอิสระ
|
|
อุณหภูมิการใช้งานของเตาทำความร้อน
|
ทั่วไป 400 ℃ (สูงสุด 500 ℃)
|
|
เครื่องทำความร้อน เตาอบเย็น
|
อุปกรณ์หมุนเวียนน้ำหล่อเย็น
|
|
ท่อฉนวน
|
การเคลือบผิวเฉื่อยบนพื้นผิวด้านใน
|
|
เป่าลม
|
โดยปกติใช้ไนโตรเจนอัตราการใช้สูงสุด 500ml / นาที
|
|
อุปกรณ์ป้องกันความร้อนสูงเกินไป
|
ปัจจุบัน 15A กระแสเหนี่ยวนำ 30mA
|
|
ปุ่มหยุดฉุกเฉิน
|
สีแดงชนิดเห็ด
|
|
อุปกรณ์ความปลอดภัย
|
โครงสร้างที่เชื่อมต่อกัน
|
|
โหมดแรงดัน
|
มอเตอร์ขับเคลื่อน
|
|
ขนาดอุปกรณ์
|
1140(W)×1106(H)×750(D)mm
|
|
น้ำหนัก
|
280Kg
|
|
พาวเวอร์ซัพพลาย
|
เฟสเดียว AC200V, 15A · AC100V, 20A
|
|
อุปกรณ์เสริมมาตรฐาน:
|
|
|
PAT (หลอดดูดซับขั้นแรก):
|
2 ชิ้น (ไม่ตรงกับท่อดักจับของ บริษัท อื่น)
|
|
PAT แร็ค
|
1 ชิ้น (ไม่ตรงกับท่อดักจับของ บริษัท อื่น)
|
|
อะแดปเตอร์ PAT
|
1 ชิ้น (จับคู่กับท่อดักจับของ บริษัท อื่น)
|
|
โอริง
|
2 ชิ้น
|
|
อุปกรณ์หมุนเวียนน้ำหล่อเย็น
|
1 ชุด (พร้อมท่อจ่ายมาตรฐาน)
|
|
ท่อฉนวน
|
1 ชิ้น
|
|
ท่อจ่ายแก๊ส
|
1 ชุด (1/16 "-1 / 8")
|
|
สายไฟฟ้า
|
1 ชุด
|
|
เครื่องมือ
|
1 ชุด
|
|
คู่มือการใช้งาน
|
1 เล่ม
|
* กรุณาสอบถามรายละเอียดเพิ่มเติมเกี่ยวกับข้อกำหนดทางเทคนิคของรุ่น SW-12400
สอบถามออนไลน์
-
ติดต่อ
-
บริษัท
-
โทรศัพท์
-
อีเมล์
-
วีแชท
-
รหัสยืนยัน
-
เนื้อหาข้อความ
-