พารามิเตอร์ผลิตภัณฑ์:
| แบบ | เครื่องทำความสะอาดพลาสม่าสูญญากาศTS-PL200MA |
| แหล่งจ่ายไฟ RF |
13.56MHz |
|
เครื่องจับคู่พลังงาน |
0 ~ 1000W ปรับได้ |
|
ระบบควบคุมอัตโนมัติ PLC |
Mitsubishi ประเทศญี่ปุ่น |
|
ระบบควบคุมความถี่ตัวแปร |
ไต้หวันเดลต้า, การควบคุมวงปิด PID, ระดับสูญญากาศสามารถรักษาได้ |
|
ระบบควบคุมอุตสาหกรรมสำหรับมนุษย์ |
ไต้หวัน Vilon, 7 นิ้ว |
|
ปั๊มสูญญากาศ |
บินผ่าน |
|
ระบบไอเสียสูญญากาศ |
Beiyi, ท่อสแตนเลสทั้งหมด + ท่อลูกฟูก + 2 ขั้นตอนหน่วยกรอง |
|
ระบบจ่ายอากาศสูญญากาศ |
SMC, Φ6ท่อสแตนเลสทั้งหมด + ท่อสแตนเลสล็อคแขน |
|
ระบบควบคุมความถี่ตัวแปร |
การควบคุมวงปิดเดลต้า PID |
|
ระบบทำลายสูญญากาศ |
เป่ยยี่, |
|
ระดับสูญญากาศการทำงาน |
10 ~ 60pa (สามารถตั้งค่าตามคำขอและระดับสูญญากาศคงที่) |
|
น้ำหนักอุปกรณ์ (รวมเครื่องหลัก / ปั๊มสูญญากาศ) |
500KG |
|
ความต้องการอากาศอัด |
0.6~0.8MPa |
| การบำบัดก๊าซ | O2、 N2、 Ar2、 CF4 |
เครื่องทำความสะอาดพลาสม่าสูญญากาศ Dongxin Gaoke ข้อดีด้านประสิทธิภาพ:
1, รูปร่างที่เหมาะสมตัวอย่างที่ซับซ้อนรวมทั้งผนังด้านในของหลุมทำความสะอาดอย่างสม่ำเสมอในทุกทิศทาง
2. ไม่มีมลพิษในกระบวนการบำบัดทั้งหมด
3. นำเข้าความแม่นยำ CNC เครื่องจักรการประมวลผลกระบวนการและผ่านการนำเข้า CMM สำหรับการตรวจสอบคุณภาพ
4. การออกแบบช่องสูญญากาศที่ยอดเยี่ยมสำหรับการปิดผนึกการออกแบบช่องสูญญากาศระดับสูงและกระบวนการผลิตในอุตสาหกรรมทหาร
5, เทคโนโลยีวงจรไฟฟ้าที่นำเข้าเดิมผลิตพลาสม่าความหนาแน่นสูงเพื่อให้แน่ใจว่าผลการทำความสะอาดที่โดดเด่น
6, การรักษาพิเศษและโครงสร้างพิเศษปล่อยอุปกรณ์เพื่อให้แน่ใจว่าการก่อตัวของพลาสมาที่มั่นคงและสม่ำเสมอ
7. ใช้เครื่องวัดอัตราการไหลอิเล็กทรอนิกส์ที่มีความแม่นยำสูงสายก๊าซ Shiverock และชิ้นส่วนวาล์ว
8. ระบบซอฟต์แวร์ทำความสะอาดพลาสม่าสูญญากาศแรงดันต่ำที่พัฒนาขึ้นเองมีเสถียรภาพและเชื่อถือได้ใช้งานง่ายสะดวกในการบำรุงรักษามีประสิทธิภาพและสะดวก
9, ระบบป้องกันความปลอดภัยที่มีประสิทธิภาพและครอบคลุม, ฟังก์ชั่นป้องกันความปลอดภัยของอุณหภูมิ, ฟังก์ชั่นป้องกันการโอเวอร์โหลด, ฟังก์ชั่นป้องกันการแจ้งเตือนวงจรลัดวงจร, ฟังก์ชั่นป้องกันการทำงานผิดพลาดต่างๆ
หลักการของเครื่องทำความสะอาดพลาสม่าสูญญากาศ:
1.1 พลาสมากลไกการเกิดปฏิกิริยา
พลาสมาเป็นก๊าซไอออไนซ์ที่มีความหนาแน่นประมาณเท่ากันของไอออนบวกและอิเล็กตรอน ประกอบด้วยไอออน อิเล็กตรอน นักเคลื่อนไหวอิสระ โฟตอน รวมทั้งอนุภาคที่เป็นกลาง เป็นสถานะที่สี่ของสสาร ในพลาสมานอกเหนือจากโมเลกุลของก๊าซไอออนและอิเล็กตรอนแล้วยังมีอะตอมหรือกลุ่มอะตอม (หรือที่เรียกว่าอนุมูลอิสระ) ที่เป็นกลางทางไฟฟ้าโดยสถานะที่กระตุ้นด้วยพลังงานและแสงที่ปล่อยออกมาจากพลาสมาที่ความยาวของคลื่นสูงและต่ําของพลังงานมีบทบาทสําคัญเมื่อพลาสมาปฏิสัมพันธ์กับพื้นผิวของวัตถุ
1.2 กลไกการรักษาพื้นผิวพลาสม่า:
(A) การแกะสลักบนพื้นผิวของวัสดุ
การกระทำทางกายภาพของพลาสม่าจำนวนมากของไอออนโมเลกุลของรัฐกระตุ้นอนุมูลอิสระและอนุภาคที่ใช้งานอื่น ๆ อีกมากมายทำหน้าที่บนพื้นผิวของตัวอย่างที่แข็งขจัดสิ่งสกปรกและสิ่งสกปรกดั้งเดิมออกจากพื้นผิวและยังจะก่อให้เกิดการแกะสลักพื้นผิวของตัวอย่างหยาบขึ้นรูปหลุมเล็ก ๆ จำนวนมากและเพิ่มพื้นผิวเฉพาะของตัวอย่าง ปรับปรุงประสิทธิภาพการเปียกของพื้นผิวที่เป็นของแข็ง
(B) เปิดใช้งานพลังงานคีย์, การเชื่อมโยงข้ามการกระทำ
พลังงานอนุภาคในพลาสม่าอยู่ที่ 0 ~ 20eV ในขณะที่พันธะส่วนใหญ่ของพอลิเมอร์สามารถอยู่ที่ 0 ~ 10eV ดังนั้นหลังจากพลาสมาทำหน้าที่บนพื้นผิวที่เป็นของแข็งพันธะเคมีดั้งเดิมของพื้นผิวที่เป็นของแข็งสามารถสร้างการแตกหักพันธะเหล่านี้ในอนุมูลอิสระในพลาสมาสร้างโครงสร้างการเชื่อมโยงข้ามตาข่ายซึ่งเปิดใช้งานกิจกรรมพื้นผิวอย่างมาก
(C) การก่อตัวของกลุ่มงานใหม่
การกระทำทางเคมี หากมีการแนะนำก๊าซปฏิกิริยาในก๊าซที่ปล่อยออกมาแล้วบนพื้นผิวของวัสดุที่เปิดใช้งานจะเกิดปฏิกิริยาทางเคมีที่ซับซ้อนแนะนำกลุ่มการทำงานใหม่เช่นไฮโดรคาร์บอนอะมิโนคาร์บอกซิลิก ฯลฯ ซึ่งเป็นกลุ่มที่ใช้งานอยู่ซึ่งสามารถปรับปรุงกิจกรรมพื้นผิวของวัสดุได้อย่างชัดเจน
1.3 หลักการทำงานของเครื่องทำความสะอาดพลาสม่าสูญญากาศ
อุปกรณ์ส่วนใหญ่ประกอบด้วยโพรงสูญญากาศและแหล่งจ่ายไฟพลาสม่าความถี่สูงระบบสูญญากาศระบบเติมอากาศระบบควบคุมอัตโนมัติและส่วนอื่น ๆ หลักการพื้นฐานของการทำงานคือในสถานะสูญญากาศใช้ปั๊มสูญญากาศเพื่อดึงสูญญากาศของสตูดิโอถึงระดับสูญญากาศ 0.15-0.3 บาร์ จากนั้นภายใต้การกระทำของเครื่องกำเนิดไฟฟ้าความถี่สูงก๊าซจะถูกทำให้เป็นไอออนเพื่อสร้างพลาสมา (สถานะที่สี่ของสาร) จากนั้นใช้พลาสมาสำหรับการรักษาพื้นผิวของชิ้นงาน คุณสมบัติที่โดดเด่นของสถานะพลาสม่าคือการปล่อยแสงเรืองแสงที่สม่ำเสมอสูงเปล่งแสงที่มองเห็นได้จากสีฟ้าถึงสีม่วงเข้มตามก๊าซที่แตกต่างกันอุณหภูมิการจัดการวัสดุใกล้เคียงกับอุณหภูมิห้อง อนุภาคที่ใช้งานสูงเหล่านี้และพื้นผิวที่ได้รับการบำบัดจะทำหน้าที่ได้รับการปรับเปลี่ยนพื้นผิวต่างๆเช่นความชุ่มชื้นของพื้นผิวการกันน้ำแรงเสียดทานต่ำการทำความสะอาดสูงการเปิดใช้งานการแกะสลัก ฯลฯ
เครื่องดูดฝุ่นพลาสม่าทำความสะอาดช่วงการใช้งาน:
1. การเปิดใช้งาน / การทำความสะอาดพื้นผิวพลาสม่า 2. พันธะหลังจากการรักษาพลาสม่า3. การแกะสลักพลาสม่า / การเปิดใช้งาน; 4. พลาสม่า deagglomeration; 5. การเคลือบพลาสม่า (hydrophilic, hydrophobic); 6. เพิ่มคุณภาพบาง; 7. การเคลือบพลาสม่า 8. พลาสม่าเถ้าและการปรับเปลี่ยนพื้นผิวและโอกาสอื่น ๆ
ผ่านการประมวลผลสามารถปรับปรุงความสามารถในการแทรกซึมของพื้นผิววัสดุเพื่อให้วัสดุหลายชนิดสามารถเคลือบชุบและการดำเนินงานอื่น ๆ เพิ่มแรงยึดเกาะแรงยึดเกาะและขจัดมลพิษอินทรีย์คราบน้ำมันหรือจาระบีในเวลาเดียวกัน
บริการหลังการขาย:
การตอบสนองอย่างรวดเร็วมีทีมบริการหลังการขายในเซินเจิ้นซูโจวเฉิงตูฉางชาเจิ้งโจว ฯลฯซัพพลายเออร์อย่างเคร่งครัดตามมาตรฐานแห่งชาติในปัจจุบันและข้อกำหนดทางเทคนิคเพื่อให้แน่ใจว่าประสิทธิภาพของผลิตภัณฑ์คุณภาพ
รับประกันหนึ่งปีสำหรับเครื่องทำความสะอาดพลาสม่าสูญญากาศ ในกรณีที่อุปกรณ์ชำรุด (ความเสียหายที่มนุษย์สร้างขึ้น) ในช่วงระยะเวลาการรับประกันฝ่าย B จัดให้พนักงานหลังการขายเพื่อติดตามการประมวลผลจนกว่าจะมีการแก้ไขปัญหา (ยกเว้นนอกเวลาทำงานและวันทำงาน) หลังจากระยะเวลาการรับประกันซัพพลายเออร์จะให้คำปรึกษาด้านเทคนิคและค่าบำรุงรักษาฟรีและเรียกเก็บค่าธรรมเนียมค่าใช้จ่ายที่เกี่ยวข้องเท่านั้น
