Øเหมาะสำหรับตัวอย่างส่วนใหญ่รวมถึงเกล็ดผงชิ้นส่วนตัวอย่างที่โปร่งใสและไม่โปร่งใสไม่จำเป็นต้องฉีดพ่นคาร์บอนหรือสเปรย์ทองคำสำหรับตัวอย่าง
Ø การวิเคราะห์ไมโครโซนของแร่ธาตุหรือชิ้นงานสามารถทำได้ผ่านรูรับแสงที่มีขนาดแตกต่างกัน (ขั้นต่ำ 50 ~ 100 μm) และยังสามารถรับค่าเฉลี่ยของส่วนประกอบที่ไม่รู้จักของแร่ธาตุโดยการปรับขนาดของจุดลำแสง
Øลำแสงอิเล็กตรอนกระตุ้นความเข้มแสงของรังสีเอกซ์ความเข้มสูงกว่าความเข้มของแหล่งกำเนิดรังสีเอกซ์ประมาณ 4-5 ลำดับความสำคัญความไวในการวิเคราะห์สูงและเวลาในการทดสอบสั้น
Øความลึกของตัวอย่างที่ยิงลำแสงอิเล็กตรอนตื้น ๆ (เพียงประมาณ 1-2 μm) เป็นการวิเคราะห์พื้นผิวจริง
Øไม่มีสัญญาณเสียงอื่น ๆ จะถูกตรวจจับยกเว้นการตรวจจับลักษณะเอ็กซ์เรย์ที่ตื่นเต้นผลการวิเคราะห์มีความแม่นยำมากขึ้น
Ø องค์ประกอบที่ตรวจจับได้มีตั้งแต่ 11 (Na) ~ 92 (U) โดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับ Na, Mg, Al, Si, P, S, Cl, K, Ca, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn และองค์ประกอบหลักอื่น ๆ ผลการวิเคราะห์ความไวสูงและการทำซ้ำสเปกตรัมที่ดี
Øการวิเคราะห์เต็มรูปแบบฟังก์ชั่นการวินิจฉัยที่สร้างขึ้นภายในการดำเนินงานอัตโนมัติเต็มรูปแบบซอฟต์แวร์การวิเคราะห์ปุ่มเดียวใช้งานง่าย