, การใช้เครื่องมือ:
ZXGP-800 กล้องจุลทรรศน์ซิลิคอนเวเฟอร์ขนาดใหญ่เกรดวิจัยส่วนใหญ่จะใช้สำหรับการสังเกตเวเฟอร์ซิลิคอนเซมิคอนดักเตอร์ มันสามารถผลิตภาพคมชัดสูงมีความรู้สึกสามมิติที่แข็งแกร่งการถ่ายภาพคมชัดและกว้างและมีระยะทางในการทำงานที่ยาวนานและมีช่วงมุมมองที่กว้างขึ้นและกำลังขยายที่สอดคล้องกันติดตั้งกล้องดิจิตอลพิกเซลสูงสามารถมองเห็นได้อย่างชัดเจนถึงการกระจายสัณฐานจุลภาคของ "ปิรามิดของเวเฟอร์ซิลิคอน" และบริการวิเคราะห์ข้อบกพร่องของเวเฟอร์ซิลิคอน เป็นกล้องจุลทรรศน์ชนิดพิเศษทั่วไปสำหรับเวเฟอร์ซิลิคอนเซลล์แสงอาทิตย์และมีการใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
กล้องจุลทรรศน์ตรวจจับเวเฟอร์ซิลิคอนแพลตฟอร์มขนาดใหญ่สามารถสังเกตเห็นความผิดพลาดของตำแหน่งรอยขีดข่วนขอบยุบและอื่น ๆ ที่เวเฟอร์ซิลิคอนเซลล์แสงอาทิตย์ยากที่จะสังเกตได้ด้วยตาเปล่า นอกจากนี้ยังสามารถวิเคราะห์สิ่งสกปรกส่วนประกอบตกค้างของแผ่นซิลิคอนเวเฟอร์ สิ่งสกปรกรวมถึงอนุภาคสิ่งสกปรกอินทรีย์สิ่งสกปรกอนินทรีย์ไอออนโลหะฝุ่นซิลิก้า ฯลฯ ทำให้เกิดปรากฏการณ์ของการเปลี่ยนดอกไม้การฟอกสีฟ้าและการทำให้เป็นสีดำได้ง่ายหลังจากแผ่นเจียรซิลิคอนซึ่งทำให้แผ่นเจียรไม่ผ่านเกณฑ์ มันเป็นเครื่องมือสามัญสำหรับ บริษัท ผู้ผลิตแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนเซลล์แสงอาทิตย์เพื่อดำเนินการควบคุมคุณภาพ
ครั้งที่สอง การแนะนำระบบ
ระบบกล้องจุลทรรศน์ซิลิคอนเวเฟอร์แพลตฟอร์มขนาดใหญ่คือการรวมเครื่องมือออปติคัลแบบดั้งเดิมเข้ากับคอมพิวเตอร์ (กล้องดิจิตอล) ผ่านตัวแปลงตาแมวซึ่งสามารถสังเกตภาพแบบไดนามิกแบบเรียลไทม์บนหน้าจอการแสดงผลของคอมพิวเตอร์ (กล้องดิจิตอล) และสามารถแก้ไขบันทึกและพิมพ์ภาพที่ต้องการได้
III พารามิเตอร์ทางเทคนิค
1. แว่นสายตา
ประเภท |
การขยายภาพ |
ฟิลด์มุมมอง (มม.) |
ช่องมองภาพขนาดใหญ่ |
10X |
Φ22 |
2. วัตถุประสงค์
ประเภท |
การขยายภาพ |
รูรับแสงตัวเลข (NA) |
ระยะการทำงาน (มม.) |
Infinity Flat Field Achromatic วัตถุประสงค์ (สว่าง / มืดวัตถุประสงค์ฟิลด์) |
4X |
0.1 |
17.80 |
10X |
0.25 |
10.00 |
|
20X |
0.40 |
5.10 |
|
40X |
0.60 |
2.90 |
3. กำลังขยายแสง: 40X-400X (เลนส์เสริมสามารถถึง 1000X)
4. หัวสามตา: 30˚เอียงสามารถถ่ายภาพแบบเต็มได้
5. ตัวแปลง: การจัดตำแหน่งภายในลูกสี่หลุม
6. ผู้ให้บริการตาราง: สามชั้นขนาดการเคลื่อนไหวทางกล:300 มม×268 มม,ช่วงการเคลื่อนที่250 มม×200 มม
7. กลไกการโฟกัส: การโฟกัสแบบ Coaxial แบบหยาบพร้อมอุปกรณ์ล็อคและ จำกัด ค่ากริดไมโคร: 0.7μm
8. วางระบบแสง: หลอดฮาโลเจน 6V 20W, ปรับความสว่างด้วยตำแหน่งปืน,
Built-in FOV แถบแสง, รูรับแสง, ผลักดันและดึงตรวจสอบการเบี่ยงเบนและตัวเบี่ยงเบน,
9. แผ่นกรองสี: สีเหลือง, สีฟ้า, สีเขียว, อุปกรณ์แปลงแผ่นกรองแก้วฝ้า
10. ระบบป้องกันเชื้อราเฉพาะ
IV. องค์ประกอบของระบบ
รุ่น ZXGP-800: 1. กล้องจุลทรรศน์ซิลิคอนเวเฟอร์ 2. กล้องอะแดปเตอร์ 3. กล้อง (CCD) 4. การ์ดจับภาพ 5. ซอฟต์แวร์
V. เลือกซื้อ
1. ช่องมองภาพ: 10X (แบ่ง) 2. วัตถุประสงค์: 50X 60X 100X (แห้ง)
3. ระบบการถ่ายภาพ 4. ซอฟต์แวร์ระดับมืออาชีพ
5. จับคู่คอมพิวเตอร์
1. แว่นสายตา
ประเภท |
การขยายภาพ |
ฟิลด์มุมมอง (มม.) |
ช่องมองภาพขนาดใหญ่ |
10X |
Φ22 |
2. วัตถุประสงค์
ประเภท |
การขยายภาพ |
รูรับแสงตัวเลข (NA) |
ระยะการทำงาน (มม.) |
Infinity Flat Field Achromatic วัตถุประสงค์ (สว่าง / มืดวัตถุประสงค์ฟิลด์) |
5X |
0.12 |
8.05 |
10X |
0.25 |
7.86 |
|
20X |
0.40 |
7.23 |
|
50X |
0.70 |
1.75 |
|
80X |
0.80 |
0.80 |
3. การขยายแสง: 50X-800X
4. หัวสามตา: 30˚เอียงสามารถถ่ายภาพแสงได้ 100%
5.Converter: ห้าหลุมภายในลูกวางตำแหน่ง
6. ผู้ให้บริการตาราง: สามชั้นขนาดการเคลื่อนไหวทางกล: 280mmX270mm, ช่วงการเคลื่อนที่: 204mmX204mm
7. กลไกการโฟกัส: การโฟกัสแบบ Coaxial แบบหยาบพร้อมอุปกรณ์ล็อคและ จำกัด ค่ากริดไมโคร: 0.7μm
8. วางระบบแสง: 15V 50W หลอดฮาโลเจน, ปรับความสว่างและตำแหน่งปืน,
Built-in FOV แถบแสง, รูรับแสง, ผลักดันและดึงตรวจสอบการเบี่ยงเบนและตัวเบี่ยงเบน,
9. แผ่นกรองสี: สีเหลือง, สีฟ้า, สีเขียว, อุปกรณ์แปลงแผ่นกรองแก้วฝ้า
10. ระบบป้องกันเชื้อราเฉพาะ
IV. องค์ประกอบของระบบ
รุ่น ZXGP-800: 1. กล้องจุลทรรศน์ซิลิคอนเวเฟอร์ 2. กล้องอะแดปเตอร์ 3. กล้อง (CCD) 4. การ์ดจับภาพ 5. ซอฟต์แวร์
V. เลือกซื้อ
1. ช่องมองภาพ: 10X (แบ่ง)
2. วัตถุประสงค์: 40X 60X 100X (แห้ง)
